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薄膜厚度在线测量技术的研究被引量：1

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摘要本文分析了几种薄膜厚度的测量方法，阐述了利用石英的晶体振荡频率与晶体厚度间的关系在线测量薄膜厚度的方法，并介绍了测量系统的组成情况。

作者尚丽平

出处《电子与仪表》 1999年第2期11-11,10,共2页

关键词振荡频率薄膜石英晶体厚度测量在线测量

分类号 O484.5 [理学—固体物理]

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1李云奇.真空镀膜技术与设备[M].东北工学院出版社,1986..

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电子与仪表

1999年第2期

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