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碳/碳复合材料在半导体制造行业的应用 被引量:1

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摘要 通过对C/C复合材料力学性、断裂性、导热性、热弯曲强度、氧化性及烧蚀性几方面性能进行详细归纳,总结出其具有其他材料不可替代的独特性能。深入解析了C/C复合材料在单晶硅制造中作为热场材料应用的可能性乃至必要性,提出C/C复合材料终将取代石墨材料成为制造大型单晶炉隔热部件的首选材料。
出处 《天津科技》 2010年第4期11-13,共3页 Tianjin Science & Technology
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参考文献5

二级参考文献6

  • 1徐世江,张芳伟,朱钧国,杨冰,张秉忠.气相生长炭纤维增强的C/C各向同性复合材料[J].炭素技术,1996,15(1):7-10. 被引量:1
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  • 3蔡大勇.基体改性C/C复合材料的制备及其抗氧化性能的研究[M].秦皇岛:燕山大学,1999..
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共引文献281

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引证文献1

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