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熔融石英气压传感器的研制与探讨

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摘要介绍了熔融石英气压传感器的研制、工艺方法及测试结果。其特点是采用了新材料、新工艺，其元件特性曲线重复性好。

作者郭文谦

机构地区长春气象仪器研究所

出处《气象水文海洋仪器》 1999年第1期27-31,共5页 Meteorological,Hydrological and Marine Instruments

关键词熔融石英膜盒光胶封装气压传感器大气压力

分类号 TH765.303 [机械工程—精密仪器及机械] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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气象水文海洋仪器

1999年第1期

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