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用紫外脉冲激光制备新型铁电薄膜成膜新技术研究

STUDIES ON NEW TECHNOLOGIES FOR FABRICATING NOVEL FERROELECTRIC FILMS BY PULSED LASER DEPOSITION
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摘要 铁电体是一类具有自发极化的电介质,其自发极化矢量可以在外电场的作用下转向。许多铁电体同时具有热释电、压电、电光、声光、非线性光学效应和很大的介电系数。由于在铁电体中声、光、电、热等效应出现交叉耦合,因而这类物质中具有丰富的物理现象和广泛的应用前景。近年来随着集成电路技术的飞速发展,人们实现了铁电薄膜材料与微电子器件的集成,集成铁电学由此诞生,材料科学研究因此掀开了崭新的一页。
作者 刘治国 殷江
出处 《中国科学基金》 CSCD 1999年第1期34-35,共2页 Bulletin of National Natural Science Foundation of China
基金 国家自然科学基金"八五"重大项目 批准号59392800(子课题)
关键词 电介质 铁电薄膜 成膜技术 紫外脉冲激光 pulsed laser deposition (PLD), plume, induction of low biased votage, crystalization induced by pulsed excimer laser, nonlinear optical waveguide, quasi-phase matching, piezoelectric multilayered films
  • 相关文献

参考文献8

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  • 3Hu W S,Appl Phys,1996年,80卷,7089页
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