期刊导航
期刊开放获取
vip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
激光微加工应用潜力的调查
被引量：
3
原文传递
导出
摘要
微加工的一个极为重要的应用是集成电路芯片的制造，因为集成电路芯片尺寸在变小而电路复杂度却不断增加。激光微加工技术对两个方面皆有贡献，既能提高电路复杂度，又不多占芯片空间。随着高级终端微处理器和控制芯片的管脚数目超过２０８个，一些独创性的技术如球状格子...
作者
楼祺洪
高鸿奕
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
1999年第1期29-32,共4页
Laser & Optoelectronics Progress
关键词
激光微加工
应用
调查
微加工
分类号
TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
0
共引文献
0
同被引文献
7
引证文献
3
二级引证文献
26
同被引文献
7
1
许平平.
集成电路的失效分析技术及其在产品开发和制造中的应用[J]
.电子产品可靠性与环境试验,1995,13(4):14-20.
被引量：1
2
曹宇,李祥友,蔡志祥,曾晓雁.
激光微加工技术在集成电路制造中的应用[J]
.光学与光电技术,2006,4(4):25-28.
被引量：12
3
徐庆仁.
国外激光切割的现状[J]
.国外激光,1990(3):26-29.
被引量：3
4
耿淑杰,王琳.
激光微加工的进展[J]
.激光与红外,1997,27(6):330-332.
被引量：1
5
杨逸民.
脉冲Nd:YAG激光在精密加工中的应用[J]
.激光与红外,1997,27(6):333-336.
被引量：10
6
徐庆仁.
国外激光加工技术的发展和应用(中)[J]
.国际航空,1998(4):68-70.
被引量：1
7
蔡志祥,曾晓雁.
激光微熔覆技术的发展及应用[J]
.中国光学与应用光学,2010,3(5):405-414.
被引量：8
引证文献
3
1
李祥友,曾晓雁,黄维玲.
激光精密加工技术的现状和展望[J]
.激光杂志,2000,21(5):1-3.
被引量：24
2
张海兵,袁文勋.
激光微加工技术在集成电路制造中的应用[J]
.电子技术与软件工程,2017(5):125-125.
被引量：2
3
李峰西,索海生,邢振宏,高凯,陈中莉.
浅谈高速激光微加工的重要性[J]
.中国设备工程,2021(13):109-110.
二级引证文献
26
1
翟立斌,蒋茂华,赵莹,赵宏亮,陈继民,律永顺.
不锈钢箔的脉冲光纤激光器精密微孔加工研究[J]
.红外与激光工程,2007,36(Z1):588-591.
2
袁根福.
激光加工技术的应用与发展现状[J]
.安徽建筑工业学院学报（自然科学版）,2004,12(1):30-34.
被引量：29
3
蒋高明.
烧掉秸秆“种”出电来[J]
.生命世界,2005(6):91-91.
4
毕严,孙梅生,张聪,白雯.
基于叶片精细加工的大功率脉冲激光幅频宽广域调控系统的研究[J]
.激光杂志,2006,27(3):55-56.
5
陈一梅,黄元庆.
激光封装MEMS芯片控制系统中的VC++串口通信技术[J]
.激光杂志,2006,27(4):76-77.
被引量：2
6
翟立斌,赵宏亮,陈继民.
玻璃材料微通道的三倍频激光微加工研究[J]
.应用激光,2006,26(6):365-368.
被引量：7
7
杨苏庆,周骥平.
激光切割板材的关键技术[J]
.机械制造与自动化,2007,36(6):68-70.
被引量：11
8
邓前松,唐霞辉,秦应雄,彭浩,柳娟.
中厚钢板小圆孔的高功率CO_2激光切割工艺研究[J]
.激光技术,2008,32(5):554-557.
被引量：9
9
张华,徐家文,王吉明.
中性盐溶液辅助激光加工试验研究[J]
.中国激光,2008,35(11):1836-1840.
被引量：4
10
高润梅,高贵,常胜江,史新刚,傅儒廉.
YAG激光打标机变焦f-theta镜扫描系统[J]
.激光与红外,2009,39(1):14-17.
被引量：3
1
耿淑杰,王琳.
激光微加工的进展[J]
.激光与红外,1997,27(6):330-332.
被引量：1
2
数控磨床调查[J]
.现代制造,2003(5):12-12.
被引量：2
3
切削液调查[J]
.现代制造,2003(8):14-14.
4
《模具制造》杂志社——加工中心在模具制造中使用情况的调查[J]
.模具制造,2004(3):79-79.
5
解雨花.
引进加工中心用切削液的调查研究[J]
.机车车辆工艺,1994(4):1-6.
6
徐少春.
钢材龟裂的成分析及对策[J]
.冶钢科技,1999(1):85-86.
7
李克锐,曾艺成,张忠仇.
国外铸铁生产技术进展[J]
.现代铸铁,2010,30(6):87-90.
被引量：2
8
潘复生,陈美宝,王敬丰,彭建,汤爱涛.
Effects of yttrium addition on microstructure and mechanical properties of as-extruded AZ31 magnesium alloys[J]
.中国有色金属学会会刊：英文版,2008,18(A01):1-6.
被引量：6
9
胡德昌.
Al-Li合金的新进展[J]
.宇航材料工艺,1989(3):1-7.
被引量：2
10
郭德伦.
FSW——最具应用潜力的新型固相焊接技术[J]
.现代制造,2002(18):62-63.
被引量：1
激光与光电子学进展
1999年 第1期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
