SIMS在半导体生产中的应用

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摘要介绍ＳＩＭＳ分析技术在半导体生产中的几个典型应用实例：在材料分析方面的应用－－－鉴别杂质成分；在工艺分析方面的应用－－了解工艺情况；在解剖分析方面的应用－获得器件内部组成成分。以此说明ＳＩＭＳ分析技术在半导体生产中的重要性。

作者赵梦壁

机构地区中国华晶电子集团公司理化技术支持中心

出处《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1998年第A12期136-139,共4页 Vacuum Science and Technology

关键词铝靶解剖分析杂质成分深度分布半导体 SIMS

参考文献2

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真空科学与技术

1998年第A12期

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