等离子刻蚀过程中的微弱信号提取与终点监测

下载PDF

导出

摘要在用等离子发射光谱技术监测大规模集成电路等离子刻蚀过程及科点时，为有效地抑制本底光对监测结果的影响，作者采用了双波长法和具有采样跟踪滤波器的锁相技术，从强光背景中提取了反映等离子刻蚀过程的微弱等离子谱信号。

作者米宝永宋克非

机构地区中国科学院长春光学精密机械研究所

出处《数据采集与处理》 CSCD 1998年第A10期55-58,共4页 Journal of Data Acquisition and Processing

关键词集成电路 LSI 等离子刻蚀过程微弱信号监测

1刘杰.LSI离子刻蚀过程中的微弱信号提取及刻蚀过程的在线监测[J].光学精密工程,1994,2(4):131-139. 被引量：1
2王志浩,HUANG Zhifeng,陈斐,SHEN Qiang,ZHANG Lianmeng.Surface Passivation of Nanocrystalline Silicon Powder Derived from Cryomilling[J].Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science),2014,29(1):65-69.
3刘正平,冯召勇,杨卫平.基于小波去噪的微弱信号提取[J].制造业自动化,2010,32(8):98-101. 被引量：9
4王学军,王姝媛,贺敬良,柳滨,周国安.CMP终点监测装置的设计[J].半导体技术,2008,33(8):670-673. 被引量：2
5柯磊,谭佳峰.微弱信号提取中的小波方法研究[J].攀枝花学院学报,2005,22(3):89-90. 被引量：1
6理华,侯朝焕,马晓川,杨俊.一种适用于微弱信号提取的盲源分离算法[J].应用声学,2009,28(4):249-253. 被引量：2
7龚倩,徐荣,叶培大.双波长法光纤温度传感器原理及应用[J].光通信技术,1999,23(3):204-207.
8杨浩,李星辰,罗建.自适应正弦数字滤波在微弱信号提取中的研究[J].压电与声光,2010,32(4):667-670.
9米宝永.从噪声中提取弱光信号的采样跟踪滤波器[J].光学精密工程,1998,6(1):95-100. 被引量：1
10杨定新,胡茑庆,温熙森.一种非线性振子的电路模拟及其在微弱信号提取中的应用[J].兵工学报,2006,27(2):351-354. 被引量：2

数据采集与处理

1998年第A10期

浏览历史

内容加载中请稍等...