摘要
微执行器是微机电系统的核心部件,应用范围广泛,具有重要的研究价值。根据微执行器的驱动方式的不同,对微执行器的应用进行了介绍。
Micro actuator is the kernel part of MEMS,with wide application range and important research value.The paper introduces some applications of micro actuators according to the different drive modes.
出处
《机械制造与自动化》
2010年第2期151-153,共3页
Machine Building & Automation
