光学薄膜技术的新进展被引量：2

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摘要本文简要介绍了96年欧洲真空镀膜会议概况,结合94年第一届欧洲真空镀膜专题讨论会的内容,对欧洲各国光学薄膜和薄膜技术的研究动向作了介绍,尤其着重于广泛应用于激光、红外及航天等高技术中的类金刚石和金刚石薄膜、软x射线多层膜及其相应镀膜技术——离子镀和离子辅助镀技术、低压反应离子镀和等离子辅助镀技术的研究、发展及应用情况。

作者黄心耕王素英刘江

机构地区北京控制工程研究所

出处《控制工程（北京）》 1998年第6期1-7,共7页

关键词光学薄膜薄膜技术类金刚石软X射线多层膜

分类号 O484 [理学—固体物理] TB43 [一般工业技术]

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控制工程（北京）

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