摘要
提出利用电子束诱导铂沉积和聚焦离子束铣削技术,实现碳纳米管原子力显微镜探针针尖的制备和结构优化研究。结合高分辨率扫描电子显微镜观测和纳米操纵仪,利用电子束诱导铂沉积实现碳纳米管固定到普通原子力显微镜探针末端,可实现直径小于10nm的纳米管探针制备。提出基于聚焦离子束铣削和照射技术实现对纳米管针尖的长度、角度的精确调控优化,纳米管探针的角度调控精度优于1°。
Electron beam induced Pt deposition and Focused Ion Beam （FIB）milling technology were used to fabricate high quality Carbon Nanotube Tip（CNT） Atomic Force Microscope（AFM） probe. Under the high resolution Scanning Electron Microscope （SEM） observation, CNT was fixed to the end of the AFM probe by nano-manipulator with electron beam induced Pt deposition. The diameter of the CNT probe fabricated can be less than 10nm. The length and orientation of the CNT-AFM probe can be optimized accurately by FIB milling and irradiation process,the precision of the angle optimization can be within 1 degree.
出处
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2010年第3期5-8,118,共5页
Modern Manufacturing Engineering
基金
中国博士后科学基金资助项目(20080440099)
高等学校学科创新引智计划资助项目(B07014)
关键词
碳纳米管探针
原子力显微镜
聚焦离子束
微纳制造
Carbon Nanotube Tip（CNT）
Atomic Force Microscope（AFM）
Focused Ion Beam（FIB）
micronano fabrication
