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JSM-T300扫描电镜维修四例 被引量:1

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摘要 我室T300扫描电镜已经工作十二年了,现将四例故障的分析和处理方法说明如下。一、故障现象:有光栅、无图像。故障分析:造成有光栅、无图像的现象,可归结为如下原因。(1)加速电压电路故障。(2)电子束通道异常阻碍电子束通过。(3)二次电子检测器故障如闪烁...
出处 《电子显微学报》 CAS CSCD 1998年第5期672-673,共2页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society
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