26“微波槽缝天线等离子体源SLANⅡ的大面积等离子体清洗
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5聂磊,蔡坚,贾松良,王水弟.微电子封装中等离子体清洗及其应用[J].半导体行业,2005(6):63-66. 被引量：3
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6聂磊,蔡坚,贾松良,王水弟.微电子封装中等离子体清洗及其应用[J].半导体技术,2004,29(12):30-34. 被引量：20
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7尉伟,王秋平,王勇,余小江,高兴宇.等离子体清洗同步辐射光学元件[J].真空科学与技术学报,2009,29(6):704-706. 被引量：3
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9秦福文,顾彪,徐茵,杨大智.蓝宝石衬底的ECR等离子体清洗与氮化的RHEED研究[J].Journal of Semiconductors,2003,24(6):668-672. 被引量：11
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