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硫化参数对多晶 FeS_2 薄膜形成的作用 被引量:7

THE EFFECT OF SULFIDATION PARAMETERS ON THE FORMATION OF POLYCRYSTALLINE FeS_2 THIN FILMS
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摘要 研究了硫化温度及硫化时间对合成FeS2薄膜材料的影响规律。结果表明,在400—600℃对磁控溅射制备的纯Fe膜硫化10—30h,可以得到接近等轴状且具有一定择优取向的多晶FeS2薄膜。在400℃硫化10h条件下,FeS2即能够以较快速率生成,随硫化温度升高或硫化时间延长,FeS2生成速率便不再明显上升。 The polycrystalline FeS 2 thin films are prepared by thermal sulfidation of iron layers sputtered on glass substrates.In this paper,the effect of the sulfidation process (sulfidation temperature and annealing time)on the formation of FeS 2 thin films has been investigated.The test results show that the equiaxed FeS 2 grains in the preferred orientation can be synthesized when the sulfidation temperature is in 400—600℃ and the annealing time in 10—30h.There is a quicker growth of FeS 2 crystal if the iron layers is sulfurated for 10 h at 400℃. Above 400℃ and 10 h the rate to form FeS 2 crystal increases insignificantly with the increase of sulfidation temperature or annealing time.
出处 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期322-326,共5页 Acta Energiae Solaris Sinica
关键词 硫化 多晶薄膜 太阳能材料 二硫化铁 太阳能 sulfidation,FeS 2,solar energy material,polycrystalline film
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