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HP5528A双频激光干涉测量系统及其应用

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作者 费文岳
出处 《精密机床》 1990年第1期44-45,共2页
关键词 测量 长度 计量 干涉法 激光 双频
分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]
  • 相关文献
精密机床
1990年 第1期

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