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新型不锈钢隔离膜压力传感器
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摘要
世界领先的硅微机械加工压力、加速度传感器制造商——美国EG&G IC Sensors日前宣布了一款新系列压力传感器,设计用于腐蚀性介质的压力测量。采用新型芯片和制造工艺,使得该系列压力传感器性能指标充分提高而且成本更低。
作者
EG&GIC Sensors
机构地区
EG&G IC Sensors
出处
《世界电子元器件》
1998年第8期53-53,共1页
Global Electronics China
关键词
压力传感器
不锈钢
隔离膜
芯片
分类号
TH812.032 [机械工程—精密仪器及机械]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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