精密数字微压差计的研制

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摘要介绍了一种精密数字微压差计的研制，该仪器采用压阻效应设计的硅器件作为压力传感器件，灵敏度高，性能可靠。

作者金明月马锡京刘义成葛光宇

机构地区上海交通大学动力工程系

出处《实验室研究与探索》 CAS 1998年第1期70-71,共2页 Research and Exploration In Laboratory

关键词压力测量数字式微压差计压力传感器

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实验室研究与探索

1998年第1期

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