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可在油气混合状态下测量的MEMS流量传感器

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摘要美国Siargo上市了机床用MEMS流量传感器“FPX4008S”系列，主要用于可测量油气混合物（压缩空气和油液的混合物）流速的机床机械部分轴承部位的油气混合物供应的优化控制。此次通过配备压缩空气检测用和油液检测用两个MEMS传感器，可在更接近轴承的位置进行检测。

出处《机电工程技术》 2009年第5期4-4,共1页 Mechanical & Electrical Engineering Technology

关键词 MEMS传感器油气混合物流量传感器混合状态测量油液检测压缩空气优化控制

分类号 TH814 [机械工程—精密仪器及机械] TN965 [电子电信—信号与信息处理]

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机电工程技术

2009年第5期

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