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GHz级SAW滤波器的实现—双谐频叉指换能器
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摘要
为了提高叉指换能器的工作频率和克服亚微米工艺带来的困难,科研工作者提出许多不同的设计方法。在1995年的《准谐频叉指换能器》一文的成功设计方法的基础上,我们进一步改进提出了双谐频叉指换能器DHIDTs的设计方法,使得工作频率同时处于元因子和阵因子的谐频上。由于其更宽的指条宽度,更好的旁瓣抑制性能和低损耗,使之更适合于高频SAW器件。本文给出了双谐频叉指换能器的设计过程,理论计算与实验结果。
作者
翟凡
章德
机构地区
南京大学声学所近代声学国家重点实验室
出处
《压电晶体技术》
1998年第2期27-32,共6页
关键词
声表面波器件
SAW滤波器
叉指换能器
谐频激励
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
TN713 [电子电信—电路与系统]
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压电晶体技术
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