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传感器

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摘要 TN366 95021147投影光刻机调焦传感器研究[学,中]/李东;中科院光电技术研究所.—112页.—1994.6研究了投影光刻机的调焦传感器.重点讨论了调焦传感器的工艺适应性及调焦传感器信号的高精度处理.提出了一种新颖的调焦传感器方案.并对该方案做了理论分析、设计和实验.

出处《中国光学》 EI CAS 1995年第2期64-65,共2页 Chinese Optics

关键词图像传感器投影光刻机调焦理论分析工艺适应性传感器研究传感器信号微电子传感器技术研究所高精度

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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中国光学

1995年第2期

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