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光散射法测量表面粗糙度综述 被引量:1

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摘要 本文根据国内外的现状,对具有较高精度,可作快速无损测量的散射法表面粗糙度测量作一些介绍和分析。
作者 严慎 张鄂
机构地区 上海交通大学
出处 《计量技术》 1990年第3期34-36,共3页 Measurement Technique
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