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基于柔性铰链结构的新型双向微动工作台的研究被引量：10

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摘要基于柔性铰链结构的新型双向微动工作台的研究＊高鹏（北京航空航天大学北京１０００８３）袁哲俊姚英学（哈尔滨工业大学哈尔滨１５０００１）０引言以柔性铰链为导向机构的超高精度微动工作台已被广泛用于能束加工、超精密检测、微操作系统等要求具有纳米级定位分辨率的...

作者高鹏袁哲俊姚英学

机构地区北京航空航天大学哈尔滨工业大学

出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期192-195,共4页 Chinese Journal of Scientific Instrument

基金国家自然科学基金

关键词双向微动工作台柔性铰链

分类号 TH703.8 [机械工程—精密仪器及机械]

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相关文献

参考文献3

1高鹏，博士学位论文，1997年
2吴一辉，仪器仪表学报，1996年，17卷，1期，157页
3薛实福，精密仪器设计，1989年，10页

同被引文献48

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引证文献10

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二级引证文献105

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5范伟,余晓芬.压电陶瓷驱动器蠕变特性的研究[J].仪器仪表学报,2006,27(11):1383-1386. 被引量：28
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9赵艳涛,吕丽军.采用柔性铰链实现镜子的四自由度精密调整[J].机械设计与研究,2007,23(1):61-64.
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1关耀奇,陈蓉玲.柔性铰链在精密和超精密加工中的应用与研究[J].机械设计,2003,20(3):46-47. 被引量：4
2曹瑞珉,郝丽娜,高金海.一种大工作空间密度的压电微动二维工作台设计[J].中国机械工程,2017,28(9):1016-1020. 被引量：5

仪器仪表学报

1998年第2期

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