等离子化学气相沉积的各种硬膜的特性和应用

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摘要 0 前言日本“东方工程公司”于1986年独自开发了能批量生产的等离子CVD(PCVD)设备,广泛应用于各种模具的表面处理。利用PCVD法可在低温形成结合性和致密性好的膜。现在这种能批量生产的设备夜间也能进行无人操作的全自动生产。下面介绍有关用PCVD法制的Ti化合物膜、类金刚石碳化物膜(DLC)等基础膜的特性和最近的应用情况。

作者权仁泽

机构地区长春汽车材料研究所

出处《国外金属热处理》 1998年第2期13-18,共6页 Heat Treatment of Metals Abroad

关键词 PVCD 硬膜钛化合物膜 DLC膜

分类号 TG156.8 [金属学及工艺—热处理] O484 [理学—固体物理]

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国外金属热处理

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