摘要
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在不同衬底温度条件下制备了不含氢的类金刚石薄膜,在相对湿度为80%与5%的条件下测试了类金刚石薄膜的摩擦学特性.由于PLD方法的独特性,薄膜具"软-硬"双层结构,保证了薄膜在潮湿条件(RH=80%)下仍保持非常优异的摩擦性能,摩擦系数与磨损率最低达0.045与5.94×10-10mm3·N-1·m-1,相对于干燥条件下测试结果来看,几乎没有明显变化.原子力显微镜与白光干涉仪测试结果表明,薄膜的均方根粗糙度小于1nm,最小值为0.209nm;XPS表明薄膜sp3最高含量达72%,并且Raman光谱结果表明室温下制备的薄膜是非晶网络结构;纳米压痕迹测试表明,薄膜最高硬度与弹性模量分别达51GPa与350GPa,且随衬底温度升高而降低;样品表面的水接触角均大于90°,薄膜表面疏水并具有极低的表面能.
出处
《中国科学（E辑）》
CSCD
北大核心
2008年第11期1912-1920,共9页
Science in China(Series E)
基金
中国工程物理研究院重大基金项目(批准号:2005Z0805)资助
