氮化铝粉末的制备研究

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摘要本文详细综述了国内外氮化铝粉末制备的主要方法；直接氮化法、碳热氮还原法及化学气相淀积法。通过比较不同制备方法得到高频等离子体化学气相淀积是制备氮化铝超细粒子的优良方法。

作者韩今依李春忠

机构地区华东理工大学技术化学物理研究所

出处《上海微电子技术和应用》 1997年第3期24-30,共7页

关键词氮化铝超细粉末化学气相溶积 AIN陶瓷

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上海微电子技术和应用

1997年第3期

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