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对BVD-5真空计的校准被引量：1

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摘要对BVD-5真空计的零点、校准方法进行了分析,讨论了它的相对误差、响应及重复性。

作者刘兴胜陈旭

机构地区中国工程物理研究院电子工程研究所

出处《计量技术》 2008年第11期49-50,共2页 Measurement Technique

关键词 BVD-5真空计校准方法电容薄膜真空计真空测量

分类号 TB772 [一般工业技术—真空技术]

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同被引文献2

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计量技术

2008年第11期

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