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激光技术在微细加工中的应用 被引量:2

The Laser Technical Applications in Fine Micro-processings
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摘要 本文介绍了用于微细加工的激光器的种类和特点,阐述了激光技术在微细加工中的应用、国外的研制情况及其发展前景。 The kinds and features of lasers used in fine micro-processings are introduced. The laser technical applicalions, the state ot investigation and a long-range perspective of the deve lopment for the laser fine micro-processings are expounded.
作者 耿淑杰
出处 《长春光学精密机械学院学报》 1997年第4期69-72,共4页 Journal of Changchun Institute of Optics and Fine Mechanics
关键词 激光器 微细加工 国外 综述 Lasers Laser micro-processings
  • 相关文献

参考文献1

同被引文献29

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引证文献2

二级引证文献2

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