纳米器件的表面预处理和成品率

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摘要近来,各种“后CMOS时代”的器件不断涌现,它们的用途广泛且发展潜力巨大。1针对这些器件的性能、表现学术界已经进行了大量的研讨,但是在器件生产制造以及提升成品率方面的研究却没有得到应有的重视。然而，如果期望在未来10年内这些器件能够由最初的研究阶段迈入发展阶段的活，相应的包括成品率提升、材料表面处理技术以及清洗技术等在内的可制造性研究会变得日益重要。

作者 Ahmed Busnaina

机构地区 NSF(东北大学(波士顿))制造高性能纳米器件的纳米科学和工程技术中心以及NSF微污染控制中心

出处《集成电路应用》 2008年第8期19-19,共1页 Application of IC

关键词纳米器件成品率表面预处理材料表面处理技术 CMOS 发展潜力生产制造可制造性

分类号 TB383 [一般工业技术—材料科学与工程] TG339 [金属学及工艺—金属压力加工]

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参考文献2

1T.Hattori."Contamination Control:Problems and Prospects,"[].Solid State Technology.1990
2.International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS)[]..2007

1刘红娟,任富建,李义曼.自蔓延高温合成涂层技术及其研究进展[J].中国非金属矿工业导刊,2006(4):18-20. 被引量：2
2电子束固化的饰面材料[J].林产工业,2009,36(3):60-60.
3麻省理工研发成功一项充电材料表面处理技术[J].表面工程资讯,2009,9(3):8-8.
4尉慧.光固化技术发展的七大热点[J].信息记录材料,2006,7(2):23-23.
5赵文轸.表面工程新技术在节材中的应用[J].机械工程材料,1995,19(4):10-14. 被引量：10
6王庆良.稀土在材料表面处理技术中的应用[J].表面技术,1995,24(5):5-8. 被引量：9
7王刚勤.CMOS电子水平仪[J].仪器与未来,1992(7):7-7.
8高温退火[J].热处理工艺与设备：英文版,2005(5):15-17.
9Ahmed Busnaina.表面处理与清洗是纳米器件实现量产的保证[J].微纳电子技术,2009,46(9):560-560.
10MIT率先推出10秒内完成充电锂电池[J].电源世界,2009(4):14-14.

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