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激光扫平仪设计原理,误差分析及检测校正方法 被引量:1

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摘要 随着半导体激光二极管的商品化产品,体积小、重量轻、使用方便的激光扫平仪得到很大发展。本文针对国内正在不断开发的激光扫平仪,就设计原理、产品应用和校验校正,尤其对扫平仪的误差进行了分析研究,为扫平仪的检验和校正方法提供理论根据。
作者 张瑞欣
机构地区 北京光学仪器厂
出处 《北光通讯》 1997年第2期6-18,共13页
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