容栅传感器的误差平均效应被引量：1

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摘要介绍了容栅传感器的工作原理，进行了容栅传感器的精度分析，提出了一种容栅传感器刻线误差的新而具体的计算方法，按该方法计算出的结果与实测得到的结果极为吻合。据此，对容栅传感器的主要元件（动、定栅板）的制造精度要求不必过高。因而，这个计算方法具有重要的实用价值。

作者凌锐鸿王佶

机构地区成都大学成都精密测量工程公司

出处《四川标准化与计量》 1997年第2期33-36,共4页

关键词容栅传感器刻线误差电容传感器

同被引文献4

1凌锐鸿,张跃华,王佶.容栅传感器的误差平均效应[J].实用测试技术,1997,23(1):26-30. 被引量：1
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四川标准化与计量

1997年第2期

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