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单刻线样板检测技术探讨

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摘要 本文描述了利用现有常规检测设备,探讨出单刻线样板一种检测技术,具有很高的检测准确度。
出处 《计量与测试技术》 1997年第5期3-4,共2页 Metrology & Measurement Technique
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