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单刻线样板检测技术探讨
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摘要
本文描述了利用现有常规检测设备,探讨出单刻线样板一种检测技术,具有很高的检测准确度。
作者
李少阳
吴红霞
机构地区
湖南省计量测试技术研究所
长沙重型机器厂
出处
《计量与测试技术》
1997年第5期3-4,共2页
Metrology & Measurement Technique
关键词
刻线沟槽
干涉显微镜
光管
瞄准
分类号
TH741.806 [机械工程—光学工程]
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计量与测试技术
1997年 第5期
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