液相外延MCT薄膜表面形貌观察及与组分的关系

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摘要用扫描电子显微镜对滑块式液相外延技术生长的MCT外延薄膜表面形貌进行了观察,并用能谱仪对其表面组分进行了分析.研究结果表明:除衬底情况、生长条件以及生长系统外、外延薄膜表面组分与其表面形貌也有一定的关系.本文较详细地报道了MCT外延膜表面形貌观察结果,并初步讨论了表面组分对表面形貌可能的影响.

作者王跃汤志杰庄维莎何景福

机构地区昆明物理研究所

出处《红外与激光技术》 CSCD 1990年第4期38-42,共5页

关键词液相外延碲镉汞薄膜表面形貌

分类号 TN304.26 [电子电信—物理电子学]

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红外与激光技术

1990年第4期

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