摘要
光强对比法是对镜反射光法测量表面粗糙度的一种改进.它的优越性在于排除了光源输出功率不稳的影响,提高了测量的准确性,更适于实时、在线测量.本文利用光强对比法对磨加工的粗糙度标准样块系列进行测量,取得了大量实验数据,描绘出光强比与粗糙度参数之间的关系曲线,进而推得了一系列表征粗糙度的经验公式,其计算值与实际测量值的偏差在2%—20%,证明经验公式是可靠的、准确的.
An improved mirror—reflected light method,light intensity ratio techniq- ue is applieed to the measurement of surface roughness.The influence of light source fluctuation is excluded and the accuracy of measurement is improved with the new technique.
关键词
粗糙度
测量
光强对比法
表面
laser
mirror—reflection
random—reflection
intensity ratio of light
roughness