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光强对比法测量表面粗糙度的研究 被引量:2

Measuring Roughness With Intensity Ratio of Light
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摘要 光强对比法是对镜反射光法测量表面粗糙度的一种改进.它的优越性在于排除了光源输出功率不稳的影响,提高了测量的准确性,更适于实时、在线测量.本文利用光强对比法对磨加工的粗糙度标准样块系列进行测量,取得了大量实验数据,描绘出光强比与粗糙度参数之间的关系曲线,进而推得了一系列表征粗糙度的经验公式,其计算值与实际测量值的偏差在2%—20%,证明经验公式是可靠的、准确的. An improved mirror—reflected light method,light intensity ratio techniq- ue is applieed to the measurement of surface roughness.The influence of light source fluctuation is excluded and the accuracy of measurement is improved with the new technique.
出处 《哈尔滨科学技术大学学报》 1990年第3期278-284,共7页
关键词 粗糙度 测量 光强对比法 表面 laser mirror—reflection random—reflection intensity ratio of light roughness
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