ADT公司成功研制新型MEMS和电子学金刚石基晶圆

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摘要 Advanced Diamond Technologies（ADT）公司以研发工业、电子和机械应用金刚石膜而闻名，它研发出的新型金刚石涂层晶圆系列产品推动了MEMS和电子器件的发展。ADT公司的新产品包括绝缘金刚石（DOI）晶圆，该产品是ADT公司在硅晶圆上纯相位超纳米晶体金刚石（UNCD）蒸汽沉积制成的硅金刚石（DoSi）晶圆的扩展。

出处《微纳电子技术》 CAS 2008年第3期184-184,共1页 Micronanoelectronic Technology

关键词金刚石膜 DT公司 MEMS 硅晶圆电子学金刚石涂层电子器件纳米晶体

分类号 TN304.18 [电子电信—物理电子学] TP333.4 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]

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