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马达驱动探针台

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摘要 300J是一款由马达驱动，控制杆操纵，用于300mm晶圆应用的探针台。该系统采用马达驱动来实现对探针台、倾角、平面和显微镜的手动控制。该探针台的特点是精选的动态高、低速范围，可以提供高分辨率的精确定位和对300mm范围的快速扫描。

出处《集成电路应用》 2007年第11期56-56,共1页 Application of IC

关键词马达驱动探针台 300MM晶圆手动控制快速扫描精确定位高分辨率控制杆

分类号 TP216 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TM303 [电气工程—电机]

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集成电路应用

2007年第11期

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