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集成微电容式无线加速度传感器的设计应用探讨被引量：1

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摘要介绍了一种基于MEMS技术制作的微电容式无线加速度传感器在大型建筑结构振动测试系统中的应用。

作者丛昕王少华

机构地区阿继集团哈尔滨泛微电子工程公司

出处《农机使用与维修》 2008年第1期12-13,共2页 Agricultural Machinery Using & Maintenance

关键词 MEMS 无线加速度传感器振动测试

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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参考文献2

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农机使用与维修

2008年第1期

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