由PVD或CVD法形成的功能薄膜

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摘要主要对新近由PVD或CVD法形成的几种功能薄膜(包括:超硬耐热膜、功能高分子薄膜及光学薄膜等)的技术特性和应用情况作出概述,从而展示了功能薄膜的发展动态。

作者崔教林

机构地区宁波高等专科学院

出处《表面技术》 EI CAS CSCD 1997年第3期36-39,共4页 Surface Technology

关键词功能薄膜 PVD CVD 镀膜表面处理

参考文献4

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表面技术

1997年第3期

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