微型流体致动器的技术水平

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摘要由于传感技术和微电子学技术的迅速发展,近年来致动技术也有新的起色,当前的主要发展方向在以下几方面:致动器的系统能力和智能致动器;灵活的致动器;分配式致动器;致动器的小型化,尤其指缩小结构尺寸和降低消耗能量。在目前已开发的微型致动器中有一类是用于流量的控制与调节,已达到工业实用的水平。而且,市场潜力很大。流体控制与调节元件主要用在以下几方面;医用注射泵,工业用阀,微机械阀,流量传感器,喷墨印刷头等。

作者大舟

出处《光机电信息》 1997年第2期18-21,共4页 OME Information

关键词传感技术流体制动器静电驱动装置

分类号 TP215 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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光机电信息

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