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微机械在医疗方面的应用

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摘要近年来,以使用半导体制造工艺的微小机械的研究为开端,世界各国积极开展微机械的研究。但是各国各有特点,美国以大学为中心开展以静电微电机为代表的硅微机械的基础研究。欧州以法国为中心利用LIGA工艺技术积极进行微传感器和执行机构的开发工作。日本大学,国家研究机构和企业也在积极进行微机械的研究。

作者李玉琴

出处《光机电信息》 1997年第2期14-15,共2页 OME Information

关键词医用电气机械微机械微传感器

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH772.03 [机械工程—精密仪器及机械]

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光机电信息

1997年第2期

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