超大规模集成电路光互连技术的进展

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摘要一、引言为了满足科学技术和现代生产力水平不断发展的需要,人们一直在努力研制运算速度更快、存储容量更大的计算技术。光计算机原理思想的提出,必将最终冲破传统的冯·诺依曼方式的电子计算机结构,开创计算技术的新纪元。但是,新一代光计算机的诞生,毕竟还有一段艰苦的历程才能实现,而传统的超大规模集成电路(VLSI)工艺,虽然在理论上和实践上已发展到了接近它们的极限能力水平,然而造成这些麻烦的原因通常都是由于电信号传输过程中的困难引起的。

作者耿完桢赵峰邹立勋姜玲珍洪晶

机构地区哈尔滨工业大学

出处《国外激光》 CSCD 1990年第2期1-6,共6页

关键词 VLSI 互连技术工艺光波导

分类号 TN470.597 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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国外激光

1990年第2期

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