摘要
随着微/纳米科学与技术的不断发展,以形状尺寸微小或操作尺度极小为特征的微型机械系统(MEMS)受到人们高度重视,MEMS技术的发展对微型构件的微细加工技术带来挑战。文章介绍了塑性微成形技术的发展背景及其基本特点,综述了微成形的基本问题、微型零件成形工艺以及成形设备、数值模拟等方面的研究现状,并对其发展趋势进行了展望。
With the rapid development of micro-electrc-mechanical systems and micro-system technology, a high requirement is taken out for the micro part manufacture technology, which gives a chance of development for the micrc-forming technology. The background and the characteristics of the micro forming are presented. An over review of the basic problems of micro parts forming processes, forming apparatuses and simulation is summarized. Finally, the trends in micro forming are discussed.
出处
《塑性工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期46-53,共8页
Journal of Plasticity Engineering
基金
国家自然科学基金资助项目(50475030)
教育部新世纪优秀人才资助项目(NCET-04-0322)。
