摘要
介绍了铟锡氧化物（ITO）薄膜的特性、主要生产工艺及其在汽车、宇航、建筑、电子等领域的应用。并对该材料生产工艺及产品市场的发展前景进行了展望。
The paper introduces the properties of ITO film. process technologies and its applications in the fields of automobile,aerospace,,construction,electronics, etc and outlooks the production and the market.
出处
《稀有金属与硬质合金》
CAS
CSCD
1997年第3期56-59,共4页
Rare Metals and Cemented Carbides
关键词
铟锡氧化物
薄膜
生产工艺
应用
ITO film,properties, process technologies, applications,outlook
