摘要
介绍应用离子束刻蚀技术制作的三次泛音264 MHz反台晶体谐振器,制作1 056 MHz的温补晶体振荡器。由于晶体致薄技术的改进,突破了传统工艺晶体频率的上限,而晶体频率的提高,进一步改善了晶振的性能、体积、功耗等,简化了电路。
Introduces 1 056 MHz temperature compensation oscillator, with third overtone mode 264 MHz inverted mesa crystal resonator. Because improved quartz crystal thinning technology, raised the frequency of quartz crystal resonator, and improved performance of quartz oscillator.
出处
《现代雷达》
CSCD
北大核心
2007年第11期89-90,共2页
Modern Radar
关键词
离子束刻蚀
反台晶体谐振器
温补晶体振荡器
ion beam etching
inverted mesa crystal resonator
temperature compensation crystal oscillator
