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用于GaN生长的蓝宝石衬底片化学机械抛光工艺研究 被引量:2

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摘要 对蓝宝石衬底片的化学机械抛光进行了研究。系统地分析了蓝宝石抛光工艺过程的性能参数,通过大量实验总结出了其影响因素并提出了优化方案,结果表明,采用粒径为40nm、低分散度的SiO2溶胶磨料并配合以适当参数进行抛光,可以获得良好的表面状态和较高的去除速率。能够有效提高蓝宝石表面的性能及加工效率。
作者 赵之雯
机构地区 福建工程学院
出处 《大众科技》 2007年第10期112-113,125,共3页 Popular Science & Technology
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参考文献4

二级参考文献35

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共引文献55

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引证文献2

二级引证文献21

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