期刊文献+

微惯性传感器建模及冲击响应分析 被引量:3

Mathematical modeling and shock analysis on micro inertial sensor
在线阅读 下载PDF
导出
摘要 研究了微惯性传感器在冲击环境下的可靠性问题,重点分析了微惯性传感器在冲击载荷作用下的冲击响应问题。根据微惯性传感器结构部件主要由质量块、支承梁、衬底组成的特点,建立了微惯性传感器结构部件的集总参数模型,得出了微加速度计和微陀螺在半周正弦加速度冲击载荷作用下的冲击响应解析解,并采用有限元分析软件ANSYS验证了该解析解的正确性。此冲击响应解析解对预测微惯性传感器在冲击环境下的可靠性具有重要作用。 The reliability of micro inertial sensor in shock environment was investigated. Based on the characteristics, the paper created a lumped parameter model for components of micro inertial sensor and acquired analytic solutions to shock response of micro accelerometer and gyroscope under acceleration shock load with half-cycle sine. The finite element analysis software ANSYS was used to verify the correctness of the analytic solution. The analytic solution is important to predict the reliability of micro inertial sensors worked in shock environment.
作者 刘梅 周百令
出处 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2007年第1期77-80,共4页 Journal of Chinese Inertial Technology
关键词 微惯性传感器 集总参数模型 冲击载荷 冲击响应 micro inertial sensor lumped parameter model shock load shock response.
  • 相关文献

参考文献6

  • 1HSU Tai-ran.MEMS和微系统-设计与制造[M].王晓浩,译.北京:机械工业出版社,2004.1-29.
  • 2Tanner D M.MEMS reliability in shock environments[C]//IEEE 38^th Annual international Reliability Physics Symposium,San Jose,Califomia,2000.
  • 3Yazdi N,Ayazi F,Najafi K.Micromachined inertial sensors[J]//Proceedings of the IEEE,1998,86(8):1640-1659.
  • 4Mochida Y,Masaya Tamura M,Ohwada K.A micromachined vibrating rate gyroscope with independent beams for the drive and detection modes[C]//Proceedings of the IEEE,1999.618-623.
  • 5Harris C M,Crede C E.Shock and vibration handbook,2th ed[M].McGraw-Hill Book Company,1976.
  • 6Meirovitch L.Elements of vibration analysis,2th ed[M]..McGraw-Hill Book Company,1986.

同被引文献16

引证文献3

二级引证文献2

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部