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用光声技术测量薄膜热扩散率的一种新方法

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摘要介绍了用光声技术结合调频锁相技术测量薄膜热扩散率的一种新方法，将锁相分析仪用作相关和矢量分析，测试样品在调频范围的光声信号的相位可快速而准确地测出，用计算机对相位数据进行处理即可得到样品的热扩散率，用几十微米厚的钛膜检验了此方法。

作者肖峻钱梦马录张春雨

机构地区西南民族学院物理系同济大学声学研究所

出处《西南民族学院学报（自然科学版）》 CAS 1997年第1期55-58,共4页 Journal of Southwest Nationalities College(Natural Science Edition)

关键词光声技术热扩散率薄膜测量

分类号 O484.5 [理学—固体物理]

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西南民族学院学报（自然科学版）

1997年第1期

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