摘要
固体密度基准的准确度主要取决于对单晶硅球直径的准确测量.为了准确测量硅球直径,针对传统五幅相移算法之不足,提出了“改进型五幅算法”,在保持该算法高准确度特点的同时,通过将技术上难以实现的步长“准确控制”(理论上要求绝对准确)转换成步长测量问题,解决了该算法在精密测长中的技术难题;在算法突破的基础上,利用“压力扫描”原理设计出“腔长可变式”法-珀标准具,建立了一套与国外同行相比技术原理新颖、提高潜力较大的相移法精密测长系统.该测量系统对硅球直径的测量准确度优于3nm;单晶硅密度的测量不确定度达到1×10-7.
出处
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第12期1382-1386,共5页
Chinese Science Bulletin
基金
科技部国家社会公益研究专项资助项目(批准号:2002DEA20014)
