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Renishaw XL-80全新轻弄激光干涉仪测量系统

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摘要在超精密的测量和校准方面，激光干涉仪已经扮演了多年极重要的角色。但是近年来随着自动化运动系统性能大幅提高，面对半导体和传统金属加工业的需求，现有激光系统的性能已无法满足一些客户的要求。

出处《数控机床市场》 2007年第6期96-96,共1页 CNC MACHINE TOOL MARKET

关键词干涉仪测量系统激光干涉仪 RENISHAW 运动系统激光系统超精密自动化加工业

分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]

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数控机床市场

2007年第6期

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