PSD激光直线度测量仪被引量：2

Development of PSD Laser Straightness Tester

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摘要介绍了采用PSD传感器设计的激光直线度测量的工作原理，以及激光器、光靶和计算机系统的设计。 A new straightness tester-PSD laser straightness tester is introduced. Its principle, laster structure, ligh target and computer system are.explained.

作者丁喜波景桂艳杨玉春袁江

机构地区哈尔滨理工大学机械工程一系

出处《传感器技术》 CSCD 1997年第2期21-23,共3页 Journal of Transducer Technology

关键词 PSD传感器直线度误差激光器激光直线度测量 PSD sensor Straightness error Laser

分类号 TN247 [电子电信—物理电子学] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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传感器技术

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