智能介质膜厚度测试仪的研制

A Smart Tester of Dielectric Film Thickness

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摘要本文研制的智能测试仪能直接读出金属表面所镀介质膜的厚度。 This paper introduces a smart tester which can display the thickness of dielectric film coated on metal surface. The operation principle and structure of the instrument are described in this paper.

作者李文臣阎强韩华英秦世才

机构地区南开大学电子科学系

出处《半导体杂志》 1997年第2期6-8,共3页

关键词介质膜厚度测量智能测试仪 Dielectric film,Thickness measurement

分类号 TP216 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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1周成刚.利用Matlab计算介质膜反射光谱[J].计算机应用与软件,2010,27(10):175-176.
2范正修,何朝玲.用于光盘存贮的光学介质膜[J].四川真空,1992(1):43-50.
3卢崇考,周明军.电容式复合介质膜湿敏元件研究[J].郑州轻工业学院学报,2000,15(4):95-98.
4阴雨晴,邓芳明,郝勇.低功耗集成电容式压力传感器设计[J].仪表技术与传感器,2015(8):16-18. 被引量：1
5侯立松,顾东红,范正修.光盘中使用的光学薄膜[J].光学仪器,1999,21(4):173-177. 被引量：3
6吴正元,陈涛,陈萍丽.PI电容湿度传感器的研制[J].华中理工大学学报,1999,27(4):46-48. 被引量：6
7顾铮■,邓传鲁.镀膜光纤光栅应用与发展[J].中国激光,2009,36(6):1317-1326. 被引量：16
8毛赣如,姚素英,曲宏伟,李永生.新型多晶硅压力传感器[J].天津大学学报,1997,30(6):767-770. 被引量：6
9亢海霞,宋文杰,范玉殿.CGX-1型法拉第仪改装的克尔仪[J].仪器仪表学报,1987,8(4):392-397.
10曹丹华,吴裕斌,阮玉.磁光盘原始误码特性测试中的等效性问题分析[J].光子学报,1995,24(6):514-518. 被引量：1

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