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光刻机中激光的自动控制

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摘要本文介绍了伺服图形预刻机中光路控制的方法.通过控制声中光调器的输入实现光强和脉冲调制,通过采样光强维持功率恒定.文中给出了实际的接口和电路.

作者黄上游贾连兴张江陵

机构地区华中理工大学计算机系

出处《广东自动化与信息工程》 1996年第1期15-19,共5页 Guangdong Automation & Information Engineering

关键词光刻机激光自动控制磁盘存储器

分类号 TP333.35 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]

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广东自动化与信息工程

1996年第1期

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